X射線熒光光譜儀（X-ray fluorescence spectrometer），簡(jiǎn)稱(chēng)XRF，是一種具有快速、無(wú)損、多元素同時(shí)分析、操作簡(jiǎn)單、使用成本較低的檢測(cè)儀器，在冶金、水泥、礦石、石油、化工、醫(yī)療、土壤、塑料、RoHS、首飾、鍍層等多個(gè)領(lǐng)域和行業(yè)發(fā)揮著重大作用。
X射線熒光光譜儀由X射線發(fā)生器、探測(cè)器、輔助控制系統(tǒng)、工控電腦及其內(nèi)置的專(zhuān)用算法軟件系統(tǒng)組成。
在高壓電源產(chǎn)生高電壓的情況下，X射線管內(nèi)的高速電子流激發(fā)到金屬靶材上產(chǎn)生初級(jí)X射線，通過(guò)準(zhǔn)直和濾光后激發(fā)到樣品表面，樣品內(nèi)的原子核外電子產(chǎn)生躍遷，躍遷的能量即為二次X射線，又稱(chēng)特征譜線。每種元素的特征譜線的波長(zhǎng)和能量均不相同，在經(jīng)過(guò)特定的光電探測(cè)器檢測(cè)后，轉(zhuǎn)換為不同高度的脈沖信號(hào)，這些信號(hào)經(jīng)過(guò)特殊的信號(hào)處理之后，就可以得到計(jì)算機(jī)軟件能識(shí)別的光譜譜形，最后經(jīng)過(guò)FP算法處理計(jì)算，即可得到成分和鍍層厚度的分析結(jié)果。
做與成品補(bǔ)口一致的標(biāo)樣，盡量將樣品熔的均勻，壓片后再測(cè)試；對(duì)于不能熔的樣品，可以將表面打磨，防止表面太臟。
